文章转载自“阿特拉斯科普柯真空压缩技术”微信公众号，如有侵权请联系删除！
干式螺杆真空泵属于非接触型干式泵，自上世纪90 年代出现以来，便因其泵腔内无油，不会发生油蒸汽返流，维护频率低，结构紧凑，能耗低，噪声小等特点备受市场青睐。
01、干式螺杆真空泵的工作过程
如图所示，螺杆真空泵主要部件是一对旋向相反的螺杆转子，电机的传动轴连接主动转子，通过一对高精度的同步齿轮带动从动螺杆，两螺杆转子将泵腔内区域分隔成多级密闭空间。
在干式螺杆真空泵的工作过程中，被抽气体依次经历吸气阶段、输运阶段、反冲压缩阶段和排气阶段：
吸气阶段：螺杆转子吸气端第一级转子的齿间容积逐渐增大，被抽气体进入工作腔完成吸气。
输运阶段：随着转子的持续旋转，气体被封闭在齿间容积形成的储气工作腔，沿轴线向排气口输送;同时在变螺距螺杆真空泵中，随着转子的齿间容积减小，在输运气体的同时进行内压缩。
反冲压缩阶段：发生在储气工作腔与排气口连通的瞬间，当密闭的齿间容积与排气空间连通时，齿间容积的气体压强略低于排气口压强，外部气体反冲进入齿间工作腔。
排气阶段：随着转子的进一步旋转，齿间储气工作腔容积逐渐压缩，最终将被抽气体排出。
02、干式螺杆真空泵的端面型线
干式螺杆真空泵的核心技术是转子的端面型线，不同的型线直接决定着泵的极限真空、抽气速率、振动和噪声等技术性能指标的差异。
端面型线大致可以分为：多头转子型线和单头转子型线两类：
01、最初，干螺杆真空泵的设计灵感来源于螺杆压缩机，因此也沿用了其多头转子型线的设计，它能在一个导程内即能完成吸气、压缩、排气一系列过程，具有导程少、抽气量大的特点。
但由于多头转子两啮合转子接触线的顶点与机壳的转子气缸孔之间会形成较大的泄漏三角区，导致极限真空度不及单头转子型线，同时加工难度大、造价高，因此市场逐步转向单头转子型线螺杆真空泵。
02、单头转子型线通过多个导程(通常为5~6个)来完成吸气、输运、反冲压缩、排气过程，转子长度相较于多头型更长，其型线设计泄漏通道长，泄漏少，具有更高的极限真空。
其结构相对于多头型较为简单，更易于加工。单头转子型线又可以细分为渐开线型、外摆线型、内外摆线型、无尖点内外摆线型等。
