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赋能半导体精密制造|阿特拉斯·科普柯集中真空系统实现93.5节能突破
作者:阿特拉斯·科普柯  发布时间:2026-01-12

文章转载自“阿特拉斯·科普柯真空技术部”微信公众号,如有侵权请联系删除!

在集成电路及显示面板制造领域,精密零部件的加工精度与生产效率直接决定行业竞争力。近期,阿特拉斯·科普柯为国内某半导体核心零部件供应商完成真空系统升级改造,凭借GHS 1900 VSD⁺ 系列智能变频真空泵及集中真空解决方案,有效解决客户生产痛点,以高效、稳定、节能的综合方案赋能精密制造升级。


一、客户背景与痛点

我们的客户是一家专注于硅、石英、碳化硅及氧化铝陶瓷等高端设备零部件研发生产的企业,同时提供熔射再生、精密清洗等核心表面处理服务,其车间220台CNC加工机床依赖真空吸附实现工件固定。该客户此前采用真空发生器产生负压,在高精密加工场景中逐渐暴露出多重瓶颈:

痛点1:真空压力不稳,工件频报废

真空压力不稳定、波动较大、真空度不高,导致工件在加工过程中由于吸附力不够脱离工位,造成产品报废。

痛点2数百台真空发生器,能耗居高不下

原设备815KW装机功率下实际运行能耗高达740KW,严重浪费能源。

痛点3维护成本高昂,影响产能

真空发生器不定期的故障与更换,造成高昂的维护成本,且频繁停机导致产能损失。

痛点4设备噪音大,作业环境急需改善

生产车间因设备噪音过大,作业环境恶化。

二、阿特拉斯·科普柯真空解决方案

针对客户核心诉求,阿特拉斯·科普柯真空专家团队深入现场开展多轮精准测量与工况分析,量身定制了包含管路工程、前处理系统、真空泵组及智能控制于一体的集中式真空解决方案。

1、智能变频驱动,2用1备

方案选用3台创新型GHS 1900 VSD⁺ 油润滑螺杆真空泵,采用“2用1备”配置保障生产连续性。

2、严谨测试,全面升级

整套系统装机功率仅74KW,较原设备大幅降低能耗基数。通过为客户小范围试验论证,方案的稳定性与节能性得到客户高度认可,顺利启动全面改造。

历经两个月的管路优化与系统调试,集中真空系统成功取代原有真空发生器,实现全车间真空供应的统一管理。

3、方案成果

此次改造为该企业客户带来多维度核心价值:

良率保障:恒定的真空压力设定避免了因吸附失效导致的工件报废,为精密加工提供可靠保障。

高效节能:据客户现场电表测量结果,实现了93.5%的节能效果,远超客户预期。

成本优化:真空发生器的定期更换流程被取消,大幅降低了维护、人力及停机损失,显著优化全生命周期成本。

改善环境:GHS VSD⁺系列产品的低噪音设计与集中布局,使设备远离生产车间,置于专门的设备间,改善了客户车间作业环境,契合企业绿色生产的理念。

助力ESG:该方案系统全自动集中排污功能,实现污水规范化处理,助力车间管理升级。


作为真空技术领域的创新专家,阿特拉斯·科普柯GHS VSD⁺系列变频真空泵凭借节能、集中、智能的核心优势,已广泛适配精密制造各场景。

未来,我们将持续以定制化解决方案响应行业需求,助力企业在降本增效、绿色转型的道路上稳步前行,共筑高端制造核心竞争力。

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